Y broses baratoi o silicon nitrid

Mae'r dull o gynhyrchu silicon nitrid yn cael effaith sylweddol ar y cyfnod grisial, purdeb a chrynhoad y deunydd. Yn dibynnu ar ofynion y cais, gall gwahanol ddulliau cynhyrchu gynhyrchu deunyddiau silicon nitrid gyda gwahanol eiddo.

A. Nitriding uniongyrchol
Methodoleg Dull

Trosolwg Mae nitridio uniongyrchol yn broses lle mae anwedd silicon a nitrogen yn adweithio ar dymheredd uchel i ffurfio nitrid silicon, yn nodweddiadol ar dymheredd rhwng 1400 gradd a 1500 gradd, i gynhyrchu deunyddiau yng nghyfnod cymysg -si₃n₄ a -si₃n₄.

Rheoli prosesau a senarios cymwys

Mae nitridio uniongyrchol yn addas ar gyfer cynhyrchu cyfaint uchel, ond mae angen rheolaeth lem ar baramedrau fel tymheredd, purdeb nitrogen a chyfradd llif i sicrhau cynnyrch homogenaidd a chryno. Mae'r dull hwn yn addas ar gyfer cynhyrchu deunyddiau nitrid silicon swmp, a ddefnyddir yn helaeth wrth gynhyrchu cerameg strwythurol ddiwydiannol.

B. Egwyddor Dyddodiad Anwedd (CVD)


Mae dyddodiad anwedd cemegol (CVD) yn broses lle mae silane (SIH₄) ac amonia (NH₃) yn adweithio ar dymheredd uchel i ffurfio ffilmiau tenau o silicon nitrid. Trwy reoli cyfran a chyfradd llif y nwy adweithio, gellir cael ffilmiau silicon nitride gyda thrwch unffurf a phurdeb uchel.

Manteision ac anfanteision:

Mae ffilmiau tenau o nitrid silicon a gynhyrchir gan y dull CVD yn burdeb uchel ac yn gryno iawn, ond mae offer y dull hwn yn gymhleth ac yn ddrud, ac mae'n addas ar gyfer cynhyrchu ffilmiau tenau mewn lled -ddargludyddion a dyfeisiau microelectroneg.

C. pwysedd uchel
Egwyddor ac offer gweithio nitriding

Gofynion Mae'r dull nitridio pwysedd uchel yn gwella dwysedd a chryfder nitrid silicon trwy gynnal adwaith nitridio ar dymheredd uchel a gwasgedd uchel. Mae'r amgylchedd pwysedd uchel yn hyrwyddo adwaith silicon a nitrogen, gan leihau amser ymateb.

Mae'r dull hwn yn addas ar gyfer cynhyrchu cerameg strwythurol dwysedd uchel, ac fe'i defnyddir yn aml wrth baratoi deunyddiau nitrid silicon sydd â gofynion cryfder uchel, megis Bearings perfformiad uchel ac offer torri, ond mae'r gofynion offer yn uchel, mae'r gost baratoi yn uchel, ac mae'n addas ar gyfer cynhyrchu cynhyrchion gwerth uchel uchel.

D. Synthesis tymheredd uchel hunan-lluosogi (SHS)
Methodoleg

Trosolwg Mae synthesis tymheredd uchel hunan-lluosogi (SHS) yn defnyddio nodweddion hunan-lluosogi adweithiau cemegol i gynhyrchu tymereddau uchel trwy danio i ysgogi adwaith nitridio digymell i gynhyrchu powdr nitrid silicon.

Nodweddion proses y

Mae gan ddull SHS gyfradd ymateb uchel a defnydd o ynni isel, ond mae'n anodd rheoli sefydlogrwydd ac unffurfiaeth yr adwaith. Mae'r dull hwn yn addas ar gyfer cynhyrchu deunyddiau powdr ar raddfa fawr ac fe'i defnyddir yn bennaf ar gyfer cymwysiadau fel llenwi deunyddiau a chwistrellu powdrau.