Adroddodd Henry Edin St. Clair Deville a Friedrich Wöhler yn gyntaf synthesis silicon nitrid ym 1857. Yn y dull synthesis y gwnaethon nhw ei adrodd, claddwyd crucible sy'n cynnwys silicon mewn crucible wedi'i lenwi â charbon a'i gynhesu i leihau ymdreiddiad ocsigen. Fe wnaethant adrodd am gynnyrch yr oeddent yn ei alw'n silicon nitrid, ond fe wnaethant fethu â chyfrif i maes ei gyfansoddiad cemegol. Ym 1879, cymysgodd Paul Schuetzenberger silicon â leinin (past y gellir ei ddefnyddio fel leinin crucible, a gafwyd trwy gymysgu siarcol, glo neu golosg â chlai) a'i gynhesu mewn ffwrnais chwyth, a'i riportio fel cyfansoddyn gyda chyfansoddiad Si3n4. Ym 1910, cynhesodd Ludwig Weiss a Theodor Engelhardt silicon mewn nitrogen pur i gael Si3n4. Ym 1925, defnyddiodd Friederich a Sittig ostyngiad carbothermol i gynhesu silicon deuocsid a charbon i radd 1250-1300 mewn awyrgylch nitrogen i syntheseiddio nitrid silicon.
Ni chymerwyd silicon nitrid o ddifrif a'i astudio am ddegawdau nes i gymwysiadau masnachol silicon nitrid ddod i'r amlwg. Rhwng 1948 a 1952, cofrestrodd cwmni Diamond Acheson ger Niagara Falls, Efrog Newydd, sawl patent ar gyfer cynhyrchu a defnyddio silicon nitrid. Ym 1958, defnyddiwyd silicon nitrid a gynhyrchwyd gan undeb carbid i wneud tiwbiau thermocwl, nozzles roced, a chroeshoelion ar gyfer metelau sy'n toddi. Dechreuodd ymchwil ar silicon nitrid yn y DU ym 1953 gyda'r pwrpas o wneud rhannau tymheredd uchel ar gyfer tyrbinau nwy. Arweiniodd hyn at ddatblygu nitrid silicon wedi'i fondio a nitrid silicon dan bwysau poeth. Ym 1971, llofnododd Asiantaeth Prosiectau Ymchwil Uwch Amddiffyn o dan Adran Amddiffyn yr UD gontract $ 17 miliwn gyda Ford a Westinghouse i ddatblygu dau dyrbin nwy cerameg.
Er bod priodweddau silicon nitrid wedi bod yn hysbys ers amser maith, ni ddarganfuwyd silicon nitrid (tua 2 × 5µm o faint) sy'n bodoli'n naturiol ar y ddaear tan y 1990au mewn meteorynnau. Enwir y math hwn o fwyn silicon nitrid a geir ym myd natur yn "nierite" er anrhydedd i Alfred Otto Carl Nier, arloeswr mewn ymchwil sbectrometreg torfol. Fodd bynnag, mae tystiolaeth y gallai'r math hwn o fwyn nitrid silicon fod wedi'i ddarganfod mewn meteorynnau yn Azerbaijan, yr hen Undeb Sofietaidd, yn gynharach. Mae meteorynnau sy'n cynnwys mwynau silicon nitrid hefyd wedi'u darganfod yn Nhalaith Guizhou, China. Yn ogystal â bodoli mewn meteorynnau ar y Ddaear, mae nitrid silicon hefyd yn cael ei ddosbarthu mewn llwch cosmig yn y gofod allanol.
